球桿儀可以同時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)量兩軸聯(lián)動(dòng)狀態(tài)下的圓運(yùn)動(dòng)精度，新式的球桿儀設(shè)備可以在一次安裝后，依次測(cè)量XY，YZ，XZ個(gè)平面上的圓軌跡精度。數(shù)控機(jī)床的垂直度、重復(fù)性、間隙、各軸的伺服增益比例匹配、伺服性能和絲杠周期性誤差等參數(shù)指標(biāo)哈默納科三維數(shù)控諧波CSG-45-160-2UH都能從圓運(yùn)動(dòng)輪廓的半徑變化中反映出來。通常，測(cè)量周期不超過1h。

   球桿儀是一維的位移測(cè)量，在檢測(cè)多軸機(jī)床時(shí)，需要設(shè)置復(fù)雜的聯(lián)動(dòng)方案。一維測(cè)量能獲得的信息是有限的，從空間三維測(cè)量的角度來講，會(huì)遺漏許多關(guān)鍵的誤差源信息，球桿儀的安裝和調(diào)準(zhǔn)依然是一項(xiàng)需要較高技術(shù)的工作，難以實(shí)現(xiàn)機(jī)床精度檢驗(yàn)的自動(dòng)化和高效。

4.3平面光柵法

   圖 # 所示，工作臺(tái)上置有直徑140mm、刻有高精度正交柵紋的平面光柵，主軸端裝有讀數(shù)光柵&在平面光柵的有效工作范圍內(nèi)，不論按NC指令執(zhí)哈默納科三維數(shù)控諧波CSG-45-160-2UH行的工作臺(tái)與主軸所作的相對(duì)運(yùn)動(dòng)是規(guī)則的圓運(yùn)動(dòng)、直線運(yùn)動(dòng)或者是不規(guī)則的復(fù)雜曲線運(yùn)動(dòng)，都可通過主軸端的讀數(shù)頭及后續(xù)電路直接讀出其運(yùn)動(dòng)軌跡是否精良的信號(hào)，讀數(shù)分辨率可達(dá)5nm。

   球桿儀是一維的位移測(cè)量，在檢測(cè)多軸機(jī)床時(shí)，需要設(shè)置復(fù)雜的聯(lián)動(dòng)方案。一維測(cè)量能獲得的信息是有限的，從空間三維測(cè)量的角度來講，會(huì)遺漏許多關(guān)鍵的誤差源信息，球桿儀的安裝和調(diào)準(zhǔn)依然是一項(xiàng)需要較高技術(shù)的工作，難以實(shí)現(xiàn)機(jī)床精度檢驗(yàn)的自動(dòng)化和高效。

4.3平面光柵法